上图为利用DRIE工艺研制的硅擒纵轮

上图为利用DRIE工艺研制的硅游丝

上图为利用DRIE工艺研制的硅擒纵叉

    单晶硅的密度大约为钢的1/3 ，线胀系数是钢的1/5，弹性模量与钢相当，具有较高的硬度，具有美丽的色泽和良好的抗腐蚀性，硬脆，易沿某个晶面开裂。除上述性能外，硅材料具有较低摩擦系数、无磁性、低的内耗。除此之外实验表明，利用MEMS技术加工的单晶硅擒纵调速零件，解决了擒纵轮齿形分布不均匀，游丝动态过程中，中心的偏移产生的干扰力矩等因素对等时性的影响，有效提高了走时精度。